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江西净化工程的温湿度是按照工艺请求来肯定的

文章来历: 未知 人气: 颁发时候:2016-07-21


江西净化工程的温湿度首要是按照工艺请求来肯定,可是在知足工艺请求的前提下,应当斟酌到人的温馨度感。跟着氛围干净度请求的进步、呈现了工艺对温湿度的请求也愈来愈严的趋向。
详细工艺对温度的请求今后仍是要罗列出来,可是作为总的准绳来看的话,由于加工精度愈来愈邃密、以是对温度动摇范围的请求也是愈来愈小。

比方在大范围集成电路出产的光刻暴光工艺中、作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热收缩系数的差请求愈来愈小的。直径100 um的硅片、温度回升1度、就引发了0.24um线性收缩、以是必必要有±0.1度的恒温、同时请求湿度值普通较低、由于人出汗今后、对产物将会有净化,出格是怕钠的半导体车间、这类车间不宜跨越25度。
湿渡过高发生的题目更多的。绝对湿度跨越55%时,冷却水管壁上是会结露,若是发生在紧密装配或电路中,就会引发各类的变乱。绝对湿度在50%时易生锈。

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